類的旋片式真空泵通常有著較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽氣速率。如同作用于前級泵上用于提其高抽速和真空度的加速器。真空泵內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)件無摩擦，不必潤滑，泵腔內(nèi)無油，可獲得清潔真空。真空泵泵腔內(nèi)氣體垂直流動，有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排除。真空泵對稱且精密動平衡的轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，可靠。結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計有垂直與水平兩個排氣口，安裝方便。機(jī)械磨擦損失小，故驅(qū)動功率小。