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2XZ系列旋片式真空泵告訴我們要正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)我們選用作為一種泵不能得到滿足抽氣要求,需要通過(guò)幾種泵組合發(fā)展起來(lái),互相補(bǔ)充才能好滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射金屬離子泵,對(duì)氬有的抽速,兩者進(jìn)行組合發(fā)展起來(lái),便會(huì)使一個(gè)真空系統(tǒng)裝置可以得到具有較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空。有的真空泵進(jìn)行出口壓強(qiáng)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合發(fā)展起來(lái)可以使用。
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